POD Stocker
SMIF(Standard Mechanical Interface, SEMI E15.1) 환경에 호환되는 Carrier(POD,FOUP)를 운송 및 저장, Sorting 기능을 하는 자동 저장 창고 System
반도체장비
POD Stocker
SMIF(Standard Mechanical Interface, SEMI E15.1) 환경에 호환되는 Carrier(POD,FOUP)를 운송 및 저장, Sorting 기능을 하는 자동 저장 창고 System
