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작성자 : seenbntek
AMHS-Foup Stocker
반도체장비
AMHS-Foup Stocker반도체 Clean Room내의 천장에 설치된 Rail을 따라 Vehicle이 이동하며 300mm Wafer를 담은 Cassette (FOUP)를 제조공정 간 반송하는 무인 자동반송 System
OHS, OHCV
LCD/OLED 장비
OHS, OHCVCassette 를 자동으로 운반하기 위한 설비로서, 필요에 따라 Stocker의 Crane을 통해 Cassette를 다른 Stocker나 Lifter로 운반하는 설비
POD Stocker
반도체장비
POD StockerSMIF(Standard Mechanical Interface, SEMI E15.1) 환경에 호환되는 Carrier(POD,FOUP)를 운송 및 저장, Sorting 기능을 하는 자동 저장 창고 System
7G,8G SLIT COATER Stage
FA/STAGE장비
7G,8G SLIT COATER Stage
Multi Diverter System
LCD/OLED 장비
Multi Diverter SystemGlass 를 수평으로 반송하기 위한 장치로서 비 접촉 구동 방식으로 소음 및 분진이 없으며, 상부에 Clean Tunnel 및 FFU를 설치하여 Conveyor 내부에 청정도 유지를 하는 시스템
Memory Test Handler
반도체장비
Memory Test HandlerBACK END 공정 중 Device를 Test 하고 등급별로 분류하는 장비
EFEM
반도체장비
EFEM공정장비에 연결 되어 ISO Class1의 고청정 환경에서 Carrier로부터 Wafer를 Loading/Unloading하는 장비
SMIF
반도체장비
SMIFLithography 공정에서 사용되는 Photo Mask를 저장, 이송하는 Carrier(RSP-150,200)를 자동으로 개폐하고 Substrate를 장비로 이송하는 Interface장비
Tray Stocker
반도체 생산장비
반도체 PKG 공정에서 Sorter, Handler 등의 설비에 JEDEC Tray 를 공급 및 회수/적재하여 전체 물류 Balance 를 조절 하는 Tray Stocker
안녕하세요!
미분류
워드프레스에 오신 것을 환영합니다. 이것은 첫번째 글입니다. 이 글을 고치거나 지운 후에 블로깅을 시작하세요!
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