半導体機器

Foub Stocker (後工程)

Foub Stocker (後工程)

 後工程に主に使われるCarrier (Tray, POSB, Cassette)を運送及び貯蔵、
Sorting機能をする自動貯蔵倉庫システム中央部の移送Robotと各CarrierのLoading / Unloading機能を担当するPort部、
Carrierを保管するShelf Frame部から構成Stocker構成

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