제품소개 : Foub Stocker, Pod (前工程)

Foub Stocker, Pod (前工程)

SMIF(Standard Mechanical Interface, SEMI E15.1) 環境に互換されるCarrier (POD、FOUP)を運送及び貯蔵、
Sorting機能をする自動貯蔵倉庫システムの一種で、中央部の移送Robotと各CarrierのLoading / Unloading機能を担当するPort部、
Carrierを保管するShelf Frame部から構成